性能,在众多关键领域中扮演着至关重要的角色。其具备高透光性、耐高温、低膨胀系数、强化学稳定性、高纯度以及良好的电绝缘性等特性,使其成为现代信息产业、光学、光伏、半导体等战略性新兴产业以及航空航天等国防领域发展中的基础材料。
的容器,为单晶生长提供了稳定的环境。而在晶圆加工部分,刻蚀、扩散、氧化、退火等步骤都需要大量的高纯度石英玻璃辅材,如石英片、石英环、石英舟、石英法兰、石英扩散管、石英钟罩等。
此外,合成石英锭还是平板显示技术中关键部件光掩膜基板的主要基材。随着半导体行业的持续发展,对石英玻璃的性能要求也日益提高。例如,沉积工艺对纯度的要求,在半导体制程中,随着晶体管尺寸的不断缩小,需要石英制品中的杂质含量更低;刻蚀工艺要求低气泡,因为石英器皿内的气泡会促使粒子生成,影响刻蚀工艺效率,所以开发低气泡石英制品成为行业趋势;光刻工艺则需要高深紫外光透射率和低吸收率,以满足集成电路持续小型化的发展需求,而合成石英恰好能满足这一要求。值得一提的是,国内在半导体领域发展迅速,近年来陆续出台了一系列政策支持半导体产业的发展,国内半导体市场需求旺盛蓝狮用户注册,规模不断增长。国内在半导体制程后道工艺方面优势明显,而在前道工艺中,石英材料作为主要耗材,具有较大的国产替代空间。因此,随着下游半导体行业国产替代进程的加快,石英材料有望在国内市场迎来更广阔的发展前景。
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